MD-6UT 臺式系列測量顯微鏡采用NIKON原裝傾斜式三目鏡筒,五段變倍鼻輪(可選自動變倍鼻輪)。提供超高清晰度測量畫面,配以0.0001mm分辨率金屬光柵實現更高的測量精度,同時Z軸采用圖像處理方式實現Z軸精準對焦測高,10X及以上物鏡對焦重復性≤0.002mm,100X物鏡對焦重復性≤0.001mm。
適用于半導體封裝、焊接貼片、環路高度、FPD面板(LCM)、晶片級CSP等領域。
升級擴展選項:
A、DIC微分干涉模塊;
B、熒光模塊。
儀器型號/儀器參數 | MD-6UT | MD-6UT-A | MD-6UT-B | |
儀器重量/kg | 230 | 400 | 540 | |
外型尺寸L*W*H | 770*660*970 | 980*790*990 | 1280*855*1050 | |
測量范圍(mm) | X | 300 | 400 | 500 |
| Y | 200 | 300 | 400 |
| Z | 150 | 150 | 150 |
工作臺(mm) | 大理石臺面 | 487×367 | 606×476 | 786×610 |
| 玻璃臺面 | 345×245 | 445×345 | 545*445 |
| 承重 | 20kg | 30kg | 30kg |
影像及測量系統 | CCD | 德國映美精1/3"彩色CCD,130萬像素 | ||
| 光學頭 | 日本尼康原裝傾斜三目鏡筒+五段變倍鼻輪(可選自動變倍鼻輪) | ||
| 目鏡 | CFI 10X | ||
| 物鏡 | 5X、10X、20X、50X、100X(倍率可選) | ||
| 光柵尺分辨率 | 0.0001mm | ||
測量精度(um) | X、Y線性精度:1.6+L/200 X-Y矢量精度:2+L/200 Z軸對焦精度≤0.002mm(10X及以上物鏡) | |||
照明光源 | LED同軸落射光源+LED平行透射光源 | |||
工作電源 | 220v±10%(AC) 50Hz(注:需有電阻≤4Ω接地線) | |||
工作環境 | 溫度:18~24℃、相對濕度:30~75%、遠離振源 |
地址:江蘇昆山市玉山鎮望山北路189號
華東地區 嚴先生:13405111891
華南地區 韓先生:13405236006